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超多元製膜装置

超多元製膜装置:トポロジカル絶縁体用スパッタ装置（8元）、磁気トンネル接合用スパッタ装置（8元）、トポロジカル絶縁体用MBE装置（8元）、超高真空トンネルチャンバー、導入室

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